电炉型号

高真空三温区CVD系统OTF-1200℃-4-Ⅲ-C9HV

High vacuum three temperature zone CVD system

主要特点

1、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60°。

2、保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，延长使用　 寿命。

3、设有三个温区，可立控温，可设置50段升降温程序，并设有过热和断偶保护。

4、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。

5、真空系统采用一键操作，按下“start”键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动，待真空度达　 到10-2mbar后分子泵自动启动）。

6、根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。

7、CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源：AC 208-240V单相 50/60Hz 7KW

2、炉管：高纯石英管，外径Φ100mm×内径Φ92mm×1400mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区：温区I长220mm，温区II长440mm，温度III长220mm，总长880mm

5、恒温区：500mm（三个温区设为同一温度时）

6、工作温度：≤1200℃，连续工作1100℃

7、升温速率：≤≤20℃/min

8、控温精度：&±1℃

9、热电偶：3根K型热电偶

高真空机组

1、输入电源：AC110V或AC220V可切换50/60Hz

2、消耗功率：110W

3、壳体尺寸：600mm×600mm×700mm

4、承重量：≤270kg

5、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s

6、工作范围：1000mbar-<10-7mbar

7、极限真空度：10-5torr

8、数字式真空显示计：10-8mbar-103mbar

质量流量混气系统

1、质量流量计：9通道精密质量流量计

2、流量计范围：10-1000sccm三个，20-200sccm三个，30-10sccm三个

3、压力表：3个，用来检测混合气体压力

电炉规格

尺寸：炉体550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×600

mm×700mm

重量：100kg

真空配件

1

不锈钢真空密封法兰

2个

2

精密针阀

2个

3

1/4″软管接头

1个

4

高温硅胶O型密封圈（可承受≤300℃）

6个

5

氧化铝管堵

1套

6

KF-40真空波纹管

1根

7

KF-40快速卡箍

3个

8

KF-25卡箍

2个

可选配件

防腐型数字真空显示计